第八十九章 聘用(1 / 2)

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光刻機從外頭看上去就是一個鐵皮箱子,僅有的一個觀察窗,在真正進行光刻作業的時候,也看不到任何東西。

郝莽也隻能在光刻機工作的時候,聽到幾聲類似於手機攝像頭打開時的雜音。

範紅才耳朵幾乎貼在了光刻機上,像是古代的醫生進行著原始聽診一般。

「滋——」他的耳朵裡聽到了電流的雜音。

「這台機器使用的是紫外光源,光源用的是冷陰極低壓汞燈。電流音聽起來好像是直流管……」

隨後,響起了光學模組矯正歸位的「卡卡」聲。

「一、二、三、四、五……至少有五組光學鏡足,每組鏡組應該至少有兩枚鏡片,鏡片排列應該是盡可能追求對稱的光路……」

接下來聽到的聲音,就是托著晶圓的托盤電機在工作的聲音了,光源和鏡頭模組的聲音,反倒是穩定了下來。

範紅才支起來身,他這時才感覺到自己的老月要有些酸疼。

他沒有著急下判斷,而是等著光刻機工作完成,被加工的晶圓進入清洗和摻雜的工序,他才開口說道。

「這是一台使用紫外光源,對稱光路的光刻機。用純紫外光是因為自然光含有光譜波長不同,最後對晶圓上的光刻膠進行投影的時候,會加大誤差。選擇紫外光而不是其它波長的光,是因為紫外光含有的能量是所有光中最大的。」

「鏡頭模組采用的對稱設計,如果我沒有聽錯的話,每組的鏡片至少有兩個,盡可能增讓紫外光聚焦的同時,又盡量讓它們保持平行,不會產生過多的折射和散射,造成能量的浪費和光刻精度的降低。」

他抿著嘴思考了一下,「這台光刻機從這兩個光學模塊來說,我認為確實有機會達到一微米的光刻精度。」

他看向張鐵心,「你覺得粗糙的地方在哪裡呢?」

張鐵心視線也從光刻機上收回來,他說道,「這台光刻機所使用的光源我拆下來過,確實是汞燈沒錯,但是與我見過的汞燈相比,這台機器裡的汞燈,隻能用粗製濫造來形容。」

他也知道範紅才沒有拆過光刻機,不能光憑裡頭的部件說事,他說道,「除此之外,光學模組之間好像隻有空氣。我雖然在光學領域不專業,但是我想空氣中的成分比較多也比較復雜,光在不同的介質中傳播,應該也會產生一些偏差。」

他的手指在模彷光穿過不同介質時光路的模樣,他說道,「如果能想辦法填充單一氣體或者抽真空,光刻機的精度是不是就能進一步提升?」

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